（1）嚴格的真空密封：為了保證真空爐的真空性能，在真空熱處理爐結構設計中必須道循一個基本原則，就是爐體要采用氣密焊接，眾歷周知，金屬零件進行真空熱處理均在密閉的真空爐內進行，因此，獲得和維持爐子原定的漏氣率，保證真空爐的工作真空度，對確保零件真空熱處理的質量有著非常重要的意義。所以真空熱處理爐的一個關鍵問題，就是要有可靠的真空密封結構。同時在爐體上盡量少開或者不開孔，少采用或者避免采用動密封結構，以盡量減少真空泄漏的機會。安裝在真空爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導出裝置也都必須設計密封結構。
（2）真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導別處置（水冷電極）、水冷裝置，中間真空隔熱門等部件，均在真空、受熱狀態下工作。在這種極為不利的條件下工作，必須保證各部件的結構不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不燒毀。因此，各部件應該根據不同的情況設置水冷裝置，以保證真空熱處理爐能夠正常運行并有足夠的使用壽命。
（3）采用低電壓大電流：在真空容器內，當真空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內時，嚴重的會產生弧光放電，真空容器內的通電導體在較高的電壓下，會產生輝光放電現象。因此，真空熱處理爐的電熱元件的工作電壓，一般都不超過80一100伏。同時在電熱元件結構設計時要采取有效措施，如盡量避免有的部件，電極間的間距不能太小窄，以防止輝光放電或者弧光放電的發生。在真空熱處理爐內，燒毀電熱元件、隔熱層等，造成重大事故和損失。
（4）自動化程度高：真空熱處理爐的自動化程度之所以較高，是因為金屬工件的加熱、冷卻等操作，需要十幾個甚至幾十個動作來完成。這些動作內在真空熱處理爐內進行，操作人員無法接近。同時，有些動作如加熱保溫結束后，金屬工件進行淬火工序須六、六個動作并且要在15秒鐘以內完成。在這樣迅速的條件來完成許多動作，是很容易造成操作人員的緊張而構成誤操作。因此，只有較高的目動化才能準確、及時按程序協調動。